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電子級氫氟酸

分子式：HF          分子量：20.01
用途：應(yīng)用于集成電路 ( I C)和超大規(guī)模集成電路 (VLSI)芯片的清洗和腐蝕 ,是微電子行業(yè)制作過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一 ,還可用作分析試劑和制備高純度的含氟化學品。還可用于太陽能電池行業(yè)硅表面清洗、蝕刻。

電子級氫氟酸
級別 UPS級 UP級 EL級
項目 單位 指標 指標 指標
含量 Assay(HF) % 49±0.5 49±0.5 49±0.5
氟硅酸（H2SiF6) ppm ≤50 ≤50 ≤50
氯化物 (Cl) ppm ≤5 ≤5 ≤5
硝酸鹽 (NO3-) ppm ≤3 ≤3 ≤3
磷酸鹽 (PO43-) ppm ≤1 ≤1 ≤1
硫酸鹽和亞硫酸鹽 ppm ≤5 ≤5 ≤5
鋰 （Li） ppb ≤1 ≤10 ≤100
鈉 （Na） ppb ≤1 ≤10 ≤100
鎂 （Mg） ppb ≤1 ≤10 ≤100
鋁 （Al） ppb ≤1 ≤10 ≤100
鉀 （K） ppb ≤1 ≤10 ≤100
鈣 （Ca） ppb ≤1 ≤10 ≤100
鉻 （Cr） ppb ≤1 ≤10 ≤20
鐵 （Fe） ppb ≤1 ≤10 ≤100
鈷 （Co） ppb ≤1 ≤10 ≤20
鎳 （Ni） ppb ≤1 ≤10 ≤50
銅 （Cu） ppb ≤1 ≤10 ≤20
鋅 （Zn） ppb ≤1 ≤10 ≤50
鎵 （Ga） ppb ≤1 ≤10 ≤20
鉬 （Mo） ppb ≤1 ≤10 ≤100
銀 （Ag） ppb ≤1 ≤10 ≤20
鎘 （Cd） ppb ≤1 ≤10 ≤50
錫 （Sn） ppb ≤1 ≤10 ≤20
鋇 （Ba） ppb ≤1 ≤10 ≤100
鉑 （Pt） ppb ≤1 ≤10 ≤100
金 （Au） ppb ≤1 ≤10 ≤20
錳 （Mn） ppb ≤1 ≤10 ≤20
鉛 （Pb） ppb ≤1 ≤10 ≤50
鈦 （Ti） ppb ≤1 ≤10 ≤10

市場總監(jiān)：叢偉孜   電話：15133863258    E-mail：cdykjxhg@163.com注：客戶特種要求可協(xié)商特定規(guī)格生產(chǎn)。